Повышение эффективности с помощью технологий Решения для полупроводниковой промышленности
Графит высокой чистоты для полупроводниковой промышленности.
Благодаря бурному развитию терминальных приложений, таких как связь 5G, новые энергетические транспортные средства, Интернет вещей, смартфоны и бытовая электроника, масштабы рынка полупроводников продолжают расти.
Развитие полупроводников неотделимо от применения графитовых материалов в полупроводниковой промышленности. от производства поликремниевых материалов для полупроводниковых кремниевых пластин до роста полупроводниковых кристаллов (будь то рост монокристаллов Cz, рост монокристаллов сапфира или выращивание монокристаллов Sic), а затем обработка полупроводниковых кремниевых пластин (включая зонную плавку, эпитаксию, профильную обработку и т. д.) и дальнейшую обработку пластин, процесс ионной имплантации. Графитовые материалы являются незаменимыми вспомогательными инструментами или важными компонентами.
Высокая чистота является ключевым требованием к графитовым компонентам полупроводников.
Процессы производства полупроводников связаны с высокими температурами, высокоагрессивными технологическими газами и сильными воздействиями.
магнитных полей. Как эксперт в производстве графита высокой чистоты, мы разработали материалы с высочайшими
чистота (содержание золы <5 ppm) в ответ на строгие требования к высокой чистоте и низкой зольности
графитовые компоненты в процессе производства полупроводников, а содержание бора и фосфора выражается однозначными числами. Несколько уровней ppb для решения особо сложных задач клиентов.
| Bulk Density |
1.74g/cm³ |
Average Grain Size |
11μm |
Permeability |
15×10⁻²cm²/sec |
| Open porosity |
15% |
Pore size |
2.0μm |
Hardness |
80Hrc |
| Flexural Strength |
45N/mm² |
Young's modulus |
11.5KN/mm² |
Specific Resistivity |
12μΩ.m |
| Thermal conductivity |
90W・m⁻¹・K⁻¹ |
Coefficient of thermal expansion 20-200c |
3.2×10⁻⁶K⁻¹ |
Ash content max |
0.02% |
SGL R8340 — это экономичный вариант тонкого изотропного материала для графитовых материалов. Это отличный выбор для производства графитовых электродов (особенно для больших полостей) из-за высокой скорости съема и разряда металла. Этот графит также хорошо подходит для изготовления графитовых форм, включая формы для литья под давлением, формы для автомобилей и формы для бытовой техники, поддерживая как черновую, так и чистовую обработку.